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美国ALICAT MCD/MCRD 双向质量流量控制器

全球首创控制双向气体流量的质量流量控制器,量程范围:0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm,另有”Whisper”低压损双向流量系列(MCDW)及耐腐蚀双向流量系列(MCDS)可选。

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产品详情


美国ALICAT  MCD/MCRD 双向质量流量控制器产品概述:

Alicat 的 MCD 系列数字式双向质量流量控制器可通过定制化 的高速比例调节阀、正向或反向精测量与控制过程气体的质 量流量、体积流量和压力。采用双阀门设计模式,一台阀门专 门用于控制进气、另一台用于排气,实现了仅用一台 MCD 便 可同时控制开放式或密闭容器内上游、下游端流量,以及正 压、背压。

Alicat 的 MCD 系列双阀门质量流量控制器采用专有的内部补 偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动, 充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。所有 Alicat 质 量流量计&质量流量控制器均具有 NIST 可溯源校准证书。

Alicat 的 MCD 系列双向质量流量控制器配有集成式多功能数字显示屏,用户无需使用电脑,仅通过屏幕按 钮操作便可控制设定值及 PID 阀门调节。内置 98 种标准气体供选择,同时开放模拟通讯和 RS-232 数字通 讯模式。另有各类定制化选项供特殊项目需求,如:用于危险环境的 ATEX(欧洲)1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。另有耐腐蚀系列(MCDS)、低压损系列(MCDW)双向流量控制器可选。


美国ALICAT  MCD/MCRD 双向质量流量控制器产品应用:

Alicat 的 MCD 系列双向质量流量控制器广泛应用于各行业领域,如:科学研究、泄漏测试、环境监测、真空 镀膜、半导体、汽车知道、光伏、燃料电池、光线制造、计量以及过程工艺气体测量等。双阀设计、多变量 测量&控制、多种气体标定以及 200:1 量程可调比使 MCD 已然成为一台通用型设备,可取代多台设备发挥的 功效。很高可达 0.4%的精度、0.2%重复性及不到 100 毫秒的控制响应时间很大程度优化了气体控制过程。

MCD 系列双向质量流量控制器可测量与控制从-0.5 ~ +0.5 SCCM 到-3000 ~ +3000 SLPM 的满量程的任何流量。




美国ALICAT  MCD/MCRD 双向质量流量控制器参数:

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 3000 slpm 满量程


精度(调零后标准条件下):±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注:该处 F.S.为双向满量程之和)

重复性: ± 0.2% F.S

零点漂移&满量程漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm

工作范围 / 量程可调比: -100 ~ 100 F.S / 200:1

很大可控流量 :102.4% F.S

典型响应时间: 100 毫秒(可调整)

启动预热时间: < 1 秒

标准工况: (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)

工作温度: −10 ~ +50 ºCelsius

工作湿度范围 (非冷凝): 0 ~ 100

内部很大工作压力(静压): 145 psig

很限压力: 175 psig

对安装方式/方向的要求: MCD 系列质量流量控制器 无 ;MCRD 系列质量流量控制器 阀门须垂直安装

阀门状态: 阀门常闭

防护等级: IP40

材质:MCD: 303 & 302 不锈钢, Viton®, 硅胶RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝 , 黄铜, 430FR 不锈钢, 硅, 玻璃 MCRD: 303 & 302不锈钢, Viton®, 硅胶RTV (橡胶), 玻璃增强尼龙, 铝, 416不锈钢, 镍, 硅, 玻璃